皮米精度面形检测设备
· 2024-04-19
| 皮米精度面形检测设备 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所2024年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 采购项目名称： | 皮米精度面形检测设备 |
| 预算金额： | 244.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100304光学测试仪器 |
| 采购需求概况： | 皮米精度面形检测设备是搭建超光滑反射镜全频段误差光学检测平台的关键环节。该设备采用高精度伪剪切绝对式干涉测量方法结合精密标定技术，实现超光滑反射镜皮米级精度面形检测，并由时域平均、子孔径拼接算法，实现米级口径超光滑反射镜绝对面形检测，主要指标包括口径1m、重复精度150pm、低阶面形精度优于1nm。目前国内500mm口径以上的纳米精度元件几乎完全依赖进口，日本大阪大学、JTEC等公司在国际上率先实现了300mm口径、1nm制造精度；另一方面，国内科研机构针对面形绝对检测设备开展了大量的研制工作，目前中科院长春光机所、高能所等均在中等口径超光滑反射镜面形检测技术方面取得了重大进展。项目组依托长春光机所，具备自研皮米精度面形检测设备的技术基础和支撑条件。 |
| 预计采购时间： | 2024-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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